潔凈廠房的地板系統(tǒng)除了需要給在這個(gè)區(qū)域工作的人們提供穩(wěn)定的立足點(diǎn)外,還要提供更多東西,例如把潔凈的空氣送入房間,支撐加工藝設(shè)備,為必要的設(shè)備維修提供方便的通道,并且還要具備堅(jiān)固的表面保證設(shè)備可以在上面進(jìn)行改造。潔凈廠房的地板也提供了電力系統(tǒng)的接地,起到傳導(dǎo)和靜電耗散的作用,消除ESD積累。
潔凈廠房的地板成為整個(gè)潔凈廠房中最重要的組成部分。然而,很多設(shè)備經(jīng)理或工具安裝人員,在使用潔凈廠房時(shí)都會(huì)碰到地板帶來的麻煩。舉個(gè)例子,人們要進(jìn)入地板下面的空間時(shí),就會(huì)認(rèn)識(shí)到--由于公差過于精密——需要很大的力量才能打開地板塊;然后,在把地板塊放回原處的時(shí)候,通常地板塊無法完全復(fù)原,不得不用腳用力在上面跺。而且,在使用工具翻開地板塊的時(shí)候,經(jīng)常會(huì)損壞它們。
很明顯,隨著時(shí)間的推移,這類原因和其他各種因素促使人們尋找一種不同的方法,設(shè)計(jì)和建造潔凈廠房的地板。